.蒸馏水：就是将水蒸馏、冷凝的水,蒸二次的叫重蒸水,三次的叫三蒸水.有时候为了特殊目的,在蒸前会加入适当试剂,如为了无氨水,会在水中加酸；低耗氧量的水,加入酸等.工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得的纯水,一般普通蒸馏取得的水纯度不高,经过多级蒸馏水,出水才可达到很纯,成本相对比较高.

2.去离子水就是将水通过阳离子交换树脂（常用的为苯乙烯型强酸性阳离子交换树脂）,则水中的阳离子被树脂所吸收,树脂上的阳离子H+被置换到水中,并和水中的阳离子组成相应的无机酸；含此种无机酸的水再通过阴离子交换树脂（常用的为苯乙烯型强碱性阴离子）OH-被置换到水中,并和水中的H+结合成水,此即去离子水.去离子水在现代工业中有着非常广泛的用途,使用去离子水,是我国很多行业提高产品质量的,赶超世界水平的重要手段之一.由于去离子水中的离子数可以被人为的控制,从而,使它的电阻率、溶解度、腐蚀性等物理、化学等指标均得到良好的控制.在工业生产及实验室的实验中,如果涉及到使用水的工艺都被使用了去离子水,那么,许多参数会更接近设计或理想数据,产品质量将变得易于控制.

3.高纯水,是指化学纯度的水,其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域,但其对水质纯度要求相当高,所以一般应用普遍的还是电子工业.例如电力系统所用的纯水,要求各杂质含量低达到“微克/升”级.在纯水的制作中,水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)