标题说明产品名称准分子激光气

其他名称 氟化氩激光气体（193nm）；氟化氪激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm）

分子式

UN No. :

UN1956

CAS No. :

产品纯度 :

99.999%

包装规格 :

钢瓶容积： 11L，16L，20L，49L，50L

产品说明 :

产品类型： ArF，KrF，XeCl，5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne

产品应用 :

注意事项

准分子激光气体为高压充装气体，使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行检验，方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，小不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。