HS‐POSRT原生多晶电阻率测试仪是一款高端电阻率测试仪器,具有电阻率大量程及超大量程测量的特点,实现了电阻率从0.0001欧姆.厘米到几万欧姆.厘米(可扩展)的测试范围,具有测量精度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点。是西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业、物理提纯生产多晶硅料生产企业、半导体材料厂、器件厂、科研部门、高等院校以及需要超大量程测试电阻率测试的企业的帮手。
产品特点
■适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业
■适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业
■适用于光伏拉晶铸锭及IC半导体器件企业
■适用于科研部门、高等院校及需要超大量程测量电阻率的企业
■测量精度高,除了具有厚度修正功能外、还有温度修正、圆片直径修正等功能
■独特的设计能有效消除测量引线和接触电阻产生的误差,实现了测量的高精度和极宽的量程范围
■双数字表结构使测量更,操作更简便。
■具有强大的测试数据查询及打印功能
■测量系统可实现自动换向测量、求平均值、值、小值、平均百分变化率等
■四探针头采用进口红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性大大提高
■采用进口元器件,留有更大的系数,大大提高了测试仪的可靠性和使用寿命
■测量电流采用高度稳定的特制恒流源(万分之五精度),不受气候条件的影响
■具有正测反测的功能,保证测试结果的准确性■具有抗强磁场和抗高频设备的性能
推荐工作条件
■温度:23±2℃■<span style='color:r