母合金掺杂剂
■掺杂,又称配料,掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质(如磷)或受主杂质(如硼)的杂质浓度,使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求。所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金。本公司提供以下多种类型母合金:
■形状
■块状
■片状
■棒状
■掺杂类型
■硼
■磷
■型号
■P型
■N型
■电阻率
■0.001-0.006 Ω.CM
■确保每段电阻率偏差在0.001或0.0005范围内
■浓度
■硼含量(atom/cm3)=1.1732E20~1.6184E19
■磷含量(atom/cm3)=7.3763E19~9.6552E18
■碳含量(atom/cm3)<5E16
■氧含量(atom/cm3)<1E18