激光器特点

l长期工作稳定性高

lRS232控制，外部GATE，TRIGGER控制

l支持PWM功率控制

lLD模块可现场更换

lTEM00基模输出（M2<1.3）

l体积小，结构紧凑

l重复频率30kHz-100kHz可调

应用范围

l薄膜蚀刻

l材料微加工

l微孔加工

l晶圆切割

l科学研究等

l激光标记

技术参数

型号

RM355Q-3W

波长

355nm

功率

3W@30KHz

单脉冲能量

100μJ@30kHz

频率

30~100kHz

脉宽

<20ns@30KHz

光斑模式

TEM00(M2<1.3)

光束直径

0.5±0.1mm

功率稳定性

<3% RMS over 8 hours

脉冲稳定性

<3% RMS over 10mins

光点稳定性

<50μrad

光束发散角

<2mrad (full angle)

光斑圆度

>90%

控制方式

RS232, Gate, Trigger

制冷方式

Air-cooling

偏振方向

Horizontal

偏振比

>100:1

环境温度

15°C ~ 35°C

相对湿度

10% ~ 80%（无结露）

预热时间

<15mins

工作电压

90V ~ 260V