单晶硅按晶体伸长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外延法。直拉法、区熔法伸长单晶硅棒材,外延法伸长单晶硅薄膜。直拉法伸长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。晶体直径可控制在Φ3~8英寸。
由于成本和性能的原因,直拉法(CZ)单晶硅材料应用广。在IC工业中所用的材料主要是CZ抛光片和外延片。存储器电路通常使用CZ抛光片,因成本较低。逻辑电路一般使用价格较高的外延片,因其在IC制造中有更好的适用性并具有消除Latch-up的能力。
硅片直径越大,技术要求越高,越有市场前景,价值也就越高。
清洁、持续可利用的能源的研究已经引起了大家的重视。那么太阳能作为一种取之不尽、用之不竭的新型清洁能源,它的开发与利用也已经引起全人类的广泛关注。太阳能电池作为太阳能的可利用形式之一,正在投入到大量的开发研究之中。
目前硅片的生产已经采用多线锯切割方法,可以生产出面积较大(25cm×25 cm)而厚度又相对较薄的硅片,但是在此方法的操作过程中,金属丝要受到多种力的激励,还要受到机械结构的影响,就不可避免的在切割过程中产生变形与振动,瞬间性的冲击就会作用在切割的硅片上。