压阻式传感器是利用晶体的压阻效应制成的传感器。当它受到压力作用时,应变元件的电阻发生变化,从而使输出电压发生变化。一般压阻式传感器是在硅膜片上做成四个等值的电阻的应变元件,构成惠斯通电桥。
传感器的端部是高弹性钢质薄膜,头部充满低黏度硅油,起传递压力和隔热作用。敏感元件硅杯浸在硅油中,被测压力通过钢膜片和硅油传递给硅杯,硅杯的集成电阻通过金属引线与绝缘端子相连,在印制电路板上有各种补偿电阻。
薄膜型压阻传感器是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上而制成的。
扩散型压阻传感器是在半导体材料的基片上利用集成电路工艺制成扩散电阻。将P型杂质扩散到N型硅单晶基底上,形成一层极薄的P型导电层,再通过超声波和热压焊法接上引出线就形成了扩散型半导体应变片。
传感器是自动检测系统主要的自动化装置,其中还包括显示器、数据处理装置。它是用来感受被测量并且以一定规律转换成可输出信号的器件或装置,还可以将被测参数转换成一定且方便传输的信号,如电信号或气信号。