压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量。此外,在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式传感器。
1、灵敏度非常高,有时传感器的输出不需放大可直接用于测量;
2、分辨率高,例如测量压力时可测出10~20Pa的微压;
3、测量元件的有效面积可做得很小,故频率响应高;
4、可测量低频加速度和直线加速度。
压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。
传感器是自动检测系统主要的自动化装置,其中还包括显示器、数据处理装置。它是用来感受被测量并且以一定规律转换成可输出信号的器件或装置,还可以将被测参数转换成一定且方便传输的信号,如电信号或气信号。