1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构

机械泵+分子泵( 国产或进口可选) ，极限真空优于 8*10-5 Pa(设备空载抽真空24h ) ，大气~8*10-4 Pa≦30min；采用电阻电离一体 化真空规管读取真空度；阀门采用电磁驱动挡板阀和手动限流阀；充气系统标配10sccm/50sccm 质量流量计各 1 套

Ф2 英寸永磁靶 2 支 (含靶挡板) ，可升级为 3 支，兼容直流和射 频，可以溅射磁性材料的靶材；直流脉冲溅射电源，全自动匹配射频电源可任选；标配冷却水机系统

可选配进口或国产单水冷探头膜厚仪

PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空

L60cm×W60cm×H96cm 机电一体化机架，预留 1 个 CF35 法兰接口